光学元件的光谱透过率和反射率怎样测出来?
将一块窗口片、滤光片或镀膜陪镀片放入仪器,设定测量波段,软件很快就会输出一条随波长变化的曲线。
横坐标通常是波长,纵坐标是光谱透过率或光谱反射率。通过这条曲线,可以判断样品在哪些波段允许光通过、哪些波段发生截止,也可以评价增透膜、高反膜或滤光膜是否达到设计要求。
看起来,整个过程只是“让光照过样品,再读取光强”。但在仪器内部,实际完成了宽带光输出、波长选择、样品与参考信号比较、光电转换和数据处理等一系列过程。
其中,真正赋予仪器“分光”能力的核心部件,是单色器。

典型台式分光光度计
图1 典型台式分光光度计。仪器通常将光源、单色器、样品室和探测系统集成在同一主机内。
一、分光光度计测量的究竟是什么?
“分光光度计”这个名称,可以拆成两个部分理解。
“分光”,是把宽光谱辐射分解并选择其中一段较窄的波长范围;“光度”,是测量该波段下的光信号强弱。
对于光学元件而言,分光光度计主要回答的是:
样品的透射或反射性能,怎样随波长变化。
1. 光谱透过率怎样得到?
仪器在没有放入样品,或放入规定参考件时,先记录参考信号 ;随后放入样品,记录样品
信号 。
在相同测量几何和基线条件下,光谱透过率可简化表示为:

例如,某块窗口片在 550 nm 处的透过率为 90%,表示在规定的光斑、入射角、样品位置和接收条件下,探测器获得的样品信号约为参考信号的 90%。
这句话中的“规定条件”不能省略。
分光光度计测到的并不是一个脱离光路的抽象数值,而是在当前测量几何下被探测器接收到的光信号比例。如果样品使光束明显会聚、发散或偏转,部分透射光没有进入探测器,仪器同样会把这部分光计入损失。
因此,常规规则透射光路更适合平行平板、窗口片、滤光片和陪镀片。具有明显光焦度的曲面镜片并非不能测量,但通常需要专用样品架、更大的接收孔径、积分球或针对曲面元件设计的测量附件。
2. 光谱反射率为什么更依赖测量几何?
反射率表示入射光中有多少被样品反射,并最终进入测量系统。
对于高反膜、金属反射膜以及部分增透膜,反射率是评价膜层性能的重要指标。但与规则透射测量相比,反射率对光路几何更敏感。
一条完整的反射率曲线,至少应结合以下条件理解:
- • 入射角;
- • 偏振状态;
- • 光谱带宽;
- • 参考镜或参考标准;
- • 测量的是镜面反射、漫反射,还是总反射。
多层介质膜的光谱响应会随入射角和偏振状态变化。即使测量的是同一块样品,只要入射角或偏振条件不同,峰值、带宽和截止位置都可能发生变化。

图2 真实高反射镜应用报告的结果节选。曲线、测量条件和数值均来自原始公开资料。
这张结果页也说明了一个容易被忽略的问题:曲线本身只是结果的一部分,测量条件同样属于结果。
如果只保留一条曲线,却没有记录入射角、偏振状态、光谱带宽和数据间隔,后续很难判断两次测量是否真正可比。
3. 为什么镀膜现场常用平面陪镀片?
在光学镀膜生产中,常将陪镀片与正式产品同炉镀膜,再测量陪镀片的透过率或反射率,用于判断该炉膜层的光谱性能。
陪镀片通常采用无明显光焦度的平面基片。这样做可以减少样片自身引起的会聚、发散和入射角分布,使测量结果更多反映膜层,而不是曲率和探测器收光范围。常规光谱透过率、反射率测量标准也主要面向平面表面和平行平板元件。
为了让陪镀片更接近正式产品的镀膜状态,至少应做到同炉沉积、位置具有代表性,并根据评价目的选择合适的基材和背面状态。如果需要用陪镀片代表正式零件的绝对光谱性能,基材折射率、吸收和厚度也不能忽略。
需要明确的是:陪镀片是工艺的代理样品。对于大口径、曲率较大或膜厚均匀性要求很高的镜片,一块陪镀片并不能天然代表正式产品所有位置的光谱性能。
二、光在分光光度计内部经历了什么?
一台典型的扫描型分光光度计,可以概括为以下几个环节:
宽带光源 → 单色器 → 样品与参考光路 → 探测器 → 数据处理
光源先提供覆盖目标波段的宽光谱辐射;单色器从中选出一段较窄的波长范围;选出的光进入样品室;探测器将接收到的光转换为电信号;软件再根据样品信号与参考信号之间的关系,计算光谱透过率或反射率。

高性能分光光度计内部光学布局
图3 高性能分光光度计内部布局示意。图中可以看到光源、双单色器、样品室和多探测器之间的光路关系。常规仪器的结构可能更简单。
1. 光源提供的是宽光谱辐射
分光光度计的光源要覆盖目标测量波段,同时还要具有足够的输出能量和稳定性。
紫外、可见和近红外区域对光源、光学材料和探测器的要求并不完全相同。因此,宽波段仪器可能配置多种光源,并在扫描过程中进行光源或探测器切换。
无论采用哪一种具体方案,核心都是一样的:
光源提供宽光谱辐射,单色器负责选择测量波长。
2. 为什么必须有参考信号?
假设探测器在 550 nm 处获得一个电信号,仅凭这个信号,无法直接判断样品透过率。
因为它还同时受到光源输出、单色器效率、内部光学元件损耗和探测器响应的影响。
因此,仪器必须建立参考状态,再测量样品状态。单光束系统通常先后测量参考和样品;双光束系统则将光分配到样品通道和参考通道,同时或交替采集,以减小光源波动和扫描漂移对结果的影响。[1]
这里需要注意:
双光束描述的是样品与参考信号怎样比较;双单色器描述的是光经过几级分光系统。两者不是同一个概念。
3. 探测器接收的是光,不是“透过率”
探测器首先把光信号转换成电信号,软件再利用参考信号和样品信号计算结果。
不同探测器具有不同的响应波段、噪声和线性范围。覆盖紫外、可见和近红外的仪器,往往需要多个探测器协同工作。
因此,当一条宽波段曲线在某些位置出现噪声水平变化或轻微台阶时,也应检查该位置是否对应光源、光栅或探测器切换,而不能直接把所有变化都归因于样品。
三、单色器为什么是分光光度计的核心?
没有单色器,仪器仍然可以测量总光强,却无法知道这些光强分别对应什么波长,也就无法形成光谱曲线。
单色器直接影响:
- • 波长选择与波长准确度;
- • 光谱带宽;
- • 光谱分辨能力;
- • 到达样品的光通量;
- • 杂散光水平;
- • 窄峰和截止边缘能否被正确还原。
1. 单色器内部有哪些部件?
许多扫描型分光光度计采用 Czerny-Turner 或其变形结构。典型光路包括:
- 1. 入射狭缝;
- 2. 准直反射镜;
- 3. 衍射光栅;
- 4. 聚焦反射镜;
- 5. 出射狭缝。
光通过入射狭缝后,由准直反射镜变成近似平行光;平行光照射到光栅,不同波长沿不同方向传播;聚焦反射镜再将各波长聚焦到出射平面。
只有与出射狭缝位置对应的那一小段波长能够继续进入样品光路。[5]

Czerny-Turner单色器光路
图4 Czerny-Turner 型单色器光路。A:入射光;B:入射狭缝;C:准直镜;D:衍射光栅;E:聚焦镜;F:出射狭缝;G:探测方向。
2. 光栅如何把不同波长分开?
衍射光栅表面具有周期排列的细密结构。宽光谱辐射照射到光栅后,不同波长会因衍射和干涉而沿不同角度传播。
转动光栅时,不同波长依次对准出射狭缝:
- • 光栅转到第一个角度,测量 ;
- • 转到第二个角度,测量 ;
- • 连续改变角度,最终得到完整光谱。
所以,扫描型分光光度计的“扫描”,本质上就是让单色器依次选择不同波长。
3. 狭缝为什么会影响曲线?
狭缝不是普通的通光孔,它会直接影响通过单色器的光谱宽度和光通量。
狭缝较窄时,通过的波长范围较小,有利于分辨相邻的光谱特征;但光通量也会下降,信号变弱,噪声可能增加。
狭缝较宽时,光通量提高,但更宽的波长范围会同时照射样品,窄峰、窄谷和陡峭截止边缘可能被平滑。
因此,狭缝设置始终是在平衡:
光谱分辨能力与信噪比。
实际分辨能力还受到光栅刻线密度、焦距、光学像差和装调状态的共同限制,并不是无限缩小狭缝就能无限提高分辨率。
4. 光谱带宽不等于数据间隔
这是光学元件测量中非常容易混淆的一组参数。
数据间隔是相邻两个记录点之间的波长差。
光谱带宽是仪器设定在某一中心波长时,实际通过单色器的波长范围。
光谱分辨能力则是仪器区分相邻光谱特征的能力。
例如,把数据间隔设置为 0.1 nm,只表示软件每隔 0.1 nm 记录一个数据点,并不代表照射到样品上的光只有 0.1 nm 宽,也不代表仪器能够分辨相隔 0.1 nm 的两个光谱峰。
可以把它理解为:
仪器不是用一根“无限细的波长线”扫描样品,而是用一个具有一定宽度的光谱带扫描。
样品的真实光谱与仪器光谱带宽共同作用,形成最终测得的曲线。对于窄带滤光片或陡峭截止膜,如果光谱带宽过大,常见表现包括峰值降低、通带变宽和截止边缘变缓。[1]
5. 杂散光为什么决定低透过率测量下限?
理想情况下,当单色器选择 500 nm 时,到达样品和探测器的光应主要集中在 500 nm 附近。
真实仪器中,仍可能有少量非目标波长光到达探测器,这部分光称为杂散光。其来源包括光栅高级次衍射、光学表面散射、内部多次反射以及遮光结构不理想等。
对于高透过率样品,少量杂散光可能并不明显。但当滤光片在截止区的真实透过率已经很低时,杂散光可能成为探测信号的主要部分。
此时,仪器测到的不再只是样品真正透过的目标波长光,而是“真实透射光 + 杂散光”。因此,杂散光会形成低透过率测量的信号底,限制仪器能够可靠验证的截止深度。[6][7]
6. 单单色器与双单色器有什么区别?
单单色器系统中,光只经过一级波长选择结构。它的光路相对简洁,光通量通常较高,适合大量常规透过率和反射率测量。
双单色器系统则把两级单色器串联起来。第一级完成初步分光,第二级进一步抑制非目标波长,从而降低杂散光。

单单色器与双单色器
图5 单单色器与双单色器的结构对比。双单色器通过两级波长选择提高光谱纯度,但也会带来更多光通量损失。
双单色器更适合深截止滤光片、低透过率膜层和大动态范围测量,但两级分光也意味着更复杂的结构和更低的通光量。
所以,双单色器并不是在任何场景下都必然更好。真正的选择应取决于测量目标:
- • 常规透过率和反射率更关注通光量、稳定性与重复性;
- • 深截止测量更关注杂散光和光度动态范围;
- • 窄带光谱更关注光谱带宽和波长准确度。
结语
分光光度计之所以能够输出一条光谱透过率或反射率曲线,核心在于完成了三个动作:
第一,从宽光谱辐射中选择一段较窄的波长范围;
第二,比较参考状态和样品状态下的光信号;
第三,不断改变波长,并记录每个波长位置的结果。
其中,单色器承担了“分光”和“选波长”的核心任务。
光栅决定不同波长怎样被分开,狭缝影响光谱带宽和通光量,光谱带宽决定窄峰和截止边缘能否被正确还原,杂散光则限制仪器能够验证多低的透过率。
因此,看到一条光谱曲线时,除了关注峰值、截止位置和工作波段,还应继续确认:
测量采用了多大的光谱带宽?
数据间隔与实际分辨能力是否匹配?
参考信号是怎样建立的?
入射角和偏振状态是否明确?
截止区是否已经接近仪器的杂散光极限?
只有把这些条件与曲线放在一起,测量结果才真正具有可解释、可复现和可比较的意义。