OptiCentric® Bonding 5D
五自由度精密光学元件的粘合和测试
使用 OptiCentric® Bonding 5D 可以非常准确地测试精密光学元件，并在单元中以五个自由度进行粘合。
- 定位精度 X/Y/Z < 1 µm；θX、θY < 2 弧秒
- 自动化流程
- 不受操作员的影响
产品型号及技术指标
| 产品型号 | OptiCentric® BondingStation 5D |
|---|---|
| 镜片直径范围① | 10...180mm |
| 镜筒直径范围① | 20...260mm |
| 最大镜片重量① | lkg |
| 最大镜筒重量① | 20kg |
| 测量精度② | X/Y(Lens)<0.1μm;Z<±1μm; X/Y(Cell)<0.2μm |
| 定位精度② | X/Y/Z<lμm;θx/θy<2” |
| 加载样品及加工时间②③ | <5min |
① 其他定制要求
② 取决于样品几何尺寸
③ 没有紫外固化时间
