OptiCentric® UP Bonding
将一个单元中的大型重镜头精确对齐和粘合
使用 OptiCentric® UP Bonding 可在两种自由度上设置直径达 800 mm、重量达 1200 kg 的精密光学元件。
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定心精度小于 2 µm
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自动精确地调整粘合框架的高度,使物镜可以逐步设置到 1.5 m 的高度
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不再需要耗时地更换对齐和粘合工具,过程高效
产品型号及技术指标
| 产品型号 | OptiCentric® 300 UP Bonding | OptiCentric® 600 UF Bonding | OptiCentric® 800 UP Bonding |
|---|---|---|---|
| 中心偏差测量精度 | ±0.2μm或±2" | ||
| 中心偏差测量重复精度 | ±0.1μm或±1” | ||
| 被测镜片R范围 | ±2000mm | ||
| 定心装调精度 | 优于2μm | ||
| 调节对准时间 | 约15s | ||
| 样品最大直径 | 400mm | 600mm | 800mm |
| 样品最大重量 | 450kg | 900kg | 1200kg |
| 气浮转台直径 | 400mm | 600mm | 800mm |
| 样品最大高度 | 1000mm | 1500mm | 1500mm |
| 气浮转台径向跳动量 | ≤0.1μm | ≤0.15μm | |
| 气浮转台轴向跳动量 | ≤0.1μm | ≤0.15μm | |