WaveMaster® PRO 2 / PRO 2 Wafer / PRO 2 PLAN
实现镜头和晶圆的批量测试
WaveMaster® PRO 2 量产型波前测量仪用于对镜头和晶圆进行批量测试。
- 全自动测量大批量样品（晶圆或装载托盘）
- 每个镜头的测量时间小于 3 秒，高效的测量步骤可达到更高的样品测试量
- 高重复性
- 用户可以与设计数据或标准产品相比较，自定义用于进行质量控制的合格/不合格标准范围
- 导出每一个镜头的测量数据，确保测量结果的高透明度，对材料缺陷和生产错误方面进行最佳生产控制
产品型号及技术指标
| 产品型号 | WaveMaster® PRO 2 | WaveMaster® PRO 2 Wafer |
| 应用范围 | 批量测量单个小镜片 的波前质量 | 批量测量晶圆级镜片 的波前质量 |
| 测量模式 | 透射式 | 透射式 |
| 空间分辨率 | 138×138 | 138×138 |
| 测量精度 | <λ/20(RMS) | <λ/20(RMS) |
| 测量重复性 | <λ/200(RMS) | <λ/200(RMS) |
| 动态范围 | 2000λ | 2000λ |
| 测量频率 | 12Hz | 12Hz |
| 测量时间 | <3秒/颗 | <3秒/颗 |
| 样品口径 | 0.5mm...14mm① | 0.5mm...14mm① |
| 样品焦距 | -12mm...50mm① | -12mm...50mm② |
| 光源波长 | 532nm | 532nm |
| 样品夹持器 | 托盘式，自动定位 多孔位(最多100个) | 托盘式，自动定位 晶圆托盘(4"/6"/8") 自动判定晶圆方向 |
| 每个托盘的镜头 | 最多148颗① | -- |
| 镜头托盘更换时间 | 10s | 10s |
| 晶圆托盘更换时间，包括校准 | <2min | <2min |
