µPhase® VERTICAL 3
多样化
高度灵活且装配齐全的干涉仪系统，适用于生产、车间和实验室。
- 电动垂直 Z 轴
- 独特的设计适用于所有类型的反射和透射测量
- 集成式自动半径测量
- 紧凑型设计的垂直测量结构，适用于狭小空间
- 集成的倾斜和 X-Y 平移台实现优质样本对齐
- 模块化设计，可根据测量要求进行优化
- 可选：使用托盘支架和电动 X-Y 滑架，一次性自动测量多个样本的表面和半径
产品技术指标
| 产品型号 | μPhase® VERTICAL | μPhase® VERTICAL PRO |
|---|---|---|
| 用途 | 研发，生产 | 生产、分批测量 |
| 被测样品类型 | 平面、球面、环曲面、非球面 | 球面、环曲面、非球面 |
| 被测样品尺寸(测量范围) | 最大Φ100mm样品大小取决于测量目标 | 适用于小直径 |
| 被测样品最大重量 | 1.5kg | 1.5kg |
| 校准工具 | 手动倾斜台、手动XY工作台、机动化、电脑控制的Z轴 | 机动化、电脑控制的X/Y/Z轴 |
| 半径测量范围 | 根据测试光学元件，300...500mm、集成半径测量单元 | 最大50mm、集成半径测量单元 |
| 半径测量精度 | 另外附加高达0.1μm厚度 | ±0.1μm |
| 尺寸(高×宽×深) | 780×350×422mm³ | 350×530×750mm³ |
| 重量 | 60kg | 100kg |
| 类型 | 台式设备 | 台式设备 |
| 可选项 | 可选附加组件例如多个口径、Waver、刀具偏置 透射法测量 | 可选附加组件例如多个口径、Waver、刀具偏置 透射法测量 |
