µPhase® UNIVERSAL
较高的多样性
µPhase® UNIVERSAL 具有多用途结构和模块化设计,可为研发工作提供很高的多样性
- 2、4 或 6 英寸测量系统,用于测试平面和球面表面
- 卧式结构,适合测量长半径
- 与其他传统的 4 英寸镜头兼容
- 可选 CGH 支架,用于测量非球面、圆柱面或环曲面
- 可根据要求进行 MTF 和均匀性测量
产品技术指标
| 产品型号 | μPhase® UNIVERSAL |
|---|---|
| 用途 | 研发 |
| 被测样品类型 | 平面、球面、环曲面、非球面、柱面 |
| 被测样品尺寸(测量范围) | 最大Φ150mm、样品大小取决于类型和测试镜头 |
| 被测样品最大重量 | 1.5kg |
| 校准工具 | 手动倾斜台、手动XY工作台、手动Z轴 |
| 半径测量范围 | 根据测试目标和半径测量轨道的长度,最长可达2m、集成半径测量单元,特别是很长的半径测量 |
| 半径测量精度 | 30μm |
| 尺寸(高×宽×深) | 500×2500×400mm³(宽度取决于轨道的长度) |
| 重量 | 30kg(取决于配置) |
| 类型 | 台式设备 |
| 可选项 | 可选CGH,用于测量非球面、柱面或曲面、 可选附加功能例如多个口径、Waver、刀具偏置、透射法测量 |