动态干涉仪 DI100 高精度动态干涉仪

传统移相干涉仪使用压电元件等移动参考平面来获取干涉条纹的图像，并计算相位分布。这种方法的缺点是单次测量至少需要100毫秒，期间干涉仪与测量样品之间会发生相对振动和空气波动，导致干涉条纹发生 波动，从而增加测量误差。为了解决这些问题，动态干涉仪采用了“动态干 涉测量”技术，无需机械移动参考平面， 一次图像数据采集即可获得四帧相 移干涉图。由于对相机的每个像素进行相移，可以稳定地收集数据，并且由于一次测量的时间可以缩短到30微秒，因此可以在干涉图像因振动等而 发生变化之前的瞬间进行测量。

产品特点

• 动态干涉仪具有较强的抗干扰能力，能够在振动、温度变化、气流等复杂环境中保持稳定的测量结果。
• 动态干涉仪能够实现实时测量，适用于高速、动态的测量场景。
• 超长光路的测量，通过结合补偿法，可以克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响，实现超大口径凹/非球面的精密检测。
• 动态干涉仪通过优化光栅设计和光路设置，提高了光能量的利用率，解决了普通二维光栅在动态干涉术中光能量 利用不足的问题。
• 动态干涉仪通过改进光路设计，如使用Twin-PBS 结构，可以有效消除测量光路中PBS 胶合层所引入的寄生条纹误差。
• 动态干涉仪可以测量多个物理参数，如位移、气流等，提供全面的测量数据。

产品型号及技术指标