OptoFlat 高精度低相干干涉仪
2026-02-02 12:05
商品介绍

ptoFlat是行业内较低成本、高稳定性、高刚性以及结构紧凑的平面专用低相干干涉仪。其采用低相干性长寿命的633nm的LED光源,波长带宽1nm。在测量透明材质的双面平行光学原件的单个表面面型时不会受到其他表面的干涉条纹影响,所以OptoFlat可以排除来自多个表面的干扰,直接测得目标表面的面型精度。对于测量实心玻璃棱镜的前表面面型时也可以抑制其他反射面的影晌的。

产品应用

测量抛光光学表面的面型和透射波前

产品型号及技术指标

放大倍率1X放大倍率4X放大倍率
有效测量区域Φ101.6mmΦ54mm
相机分辨率1200x1200pixels192Qx1200pixels
相机频率40Hz40Hz
空间采样88µm/pixel22µm /pixel
畸变0.08%0.05%
景深±12.6mm±2.2mm
RMS测量精度0.1nm0.1nm
RMS重复性0.03nm0.03nm
波长633nm, 1nm FWHM633nm, 1nm FWHM
相干深度300µm300µm
工作距离90mm90mm
倾斜调整范围±2°±2°
平移调整范围±8mm±8mm
样品承载台175mmx175mm175mmx175mm
轴向移动范图65mm连续移动,100mm拆掉垫圈65mm连续移动,100mm拆掉垫圈
最大被测样品100mm厚 , 5kg重100mm厚 , 5kg重

 

产品特色

 ·  自动光强调节与FlexFlatTM传输平台相结合减少了操作人员在测量时的干预
 ·  无需反复测詈 无需扫描测试位置
.与其他基于激光的Fizeau干涉仪不同 OptoFlat集成了长寿命的LED光源
.内萱专有的PurePhaseTM方法提升了在不稳定的振动环境中的干涉相位测呈
.校准过的低畸变1X和4X光学放大倍率的比例尺准确的测试面积尺寸,可自动标记或用户定义有效通光孔径判定测试合格/不合格
.简单易用的测试软件界面便于光学原件的批噩测试,使任何人只要稍加培训就可以轻松测试多样的光学原件,专业的样品承载台可快速批量测试每个零件
. 非接触式传感器开始测呈并能快速分析判断产品合格/不合格
. 设计简洁占地小,没有杂乱的电缆 只有交流电源和USB电缆到电脑

产品使用环境

温度范围20°C-28°C
隔振等级VC-C
外形尺寸(长x宽x商)445mmx450mmx860mm
重量54kg
电压100... 240VAC, 50/60Hz

 

 

 

联系方式

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