20 μm还是30 μm?自准直仪分划板线宽到底怎么定

2026-09-01 16:33

一台电子自准直仪,焦距、口径和相机都确定以后,分划板看起来似乎只是最后一个“小零件”。

但真正开始设计时,很快会遇到一个问题:

十字线到底应该做多宽?

10 μm、20 μm还是30 μm?

这件事并不能只看分划板加工能力。对于电子自准直仪,分划板上的十字最终要经过物镜、反射镜,再成像到CMOS上,软件真正处理的是一条具有一定灰度宽度的十字像。

所以分划板线宽,本质上是一个由焦距、通光口径、像元尺寸、衍射和定位算法共同决定的参数。

本文就用一组具体参数来算:

  • • 自准直物镜焦距:200 mm
  • • 有效通光口径:30 mm
  • • 分辨率:1280 × 1024
  • • 像元尺寸:4.8 × 4.8 μm
  • • 有效感光面:约6.14 × 4.92 mm

核心问题不是“哪一种分划板最好”,而是:分划板上的线宽,到了CMOS上以后会变成什么样。


一、先看一个像素对应多少角度

自准直仪测量平面反射镜倾角时,小角度条件下有:

自准直仪测量平面反射镜倾角时,小角度条件下有:

其中:

  • • :反射像在焦平面上的位移
  • • :自准直物镜焦距
  • • :反射镜倾角

因此一个像素对应的镜面转角约为:

代入:

得到:

也就是说,反射像在相机上移动1个像素,大约对应反射镜转动2.48角秒。

如果希望测量结果进入1角秒甚至更小的量级,软件显然不能停留在“判断十字落在哪一个像素”,而要继续做亚像素定位。

例如0.1角秒只对应约:

这里并不是说这套硬件天然就能达到0.1角秒精度,而是说明一个事实:

电子自准直仪最终依赖的是十字灰度分布的稳定定位,而不是简单的像素级识别。


二、分划板上的20 μm,到了CMOS上还是20 μm吗?

这是选择线宽之前必须先解决的问题。

对于经典共物镜自准直结构,分划板位于物镜焦平面。分划板上的一个位置 ,经过焦距为  的物镜后,对应一个出射角:

反射光返回以后,再由接收光学系统聚焦到CMOS:

所以分划板到接收面的几何倍率为:

如果发射和接收共用同一只200 mm自准直物镜,并且CMOS前没有额外改变倍率的继像系统,那么:

因此一阶几何光学下,可以得到:

分划板线宽CMOS上的几何像宽对应像素数
10 μm约10 μm约2.1 pixel
20 μm约20 μm约4.2 pixel
30 μm约30 μm约6.3 pixel
40 μm约40 μm约8.3 pixel

这里还有一个很容易混淆的问题。

自准直仪有“二倍角”关系:

但这个“2”来自反射镜转动后,反射光方向改变了两倍角度,并不意味着分划板图像会被放大2倍。

所以:

镜面转角到像点位移的倍率,和
分划板尺寸到CMOS图像尺寸的倍率

是两个不同的问题。

三、200 mm焦距、30 mm口径,还要考虑衍射

如果只做到上一步,很容易得到一个结论:

既然20 μm正好对应约4.2个像素,那直接选20 μm不就可以了吗?

还不能这么快下结论。

这台物镜的F数为:

如果工作波长按525 nm附近绿光估算,理想圆孔径系统的艾里斑直径约为:

代入以后:

换算到4.8 μm像元上,大约是:

这意味着,即使分划板上的边缘完全锐利,经过实际光学系统以后,CMOS上看到的边缘也不会保持理想的几何阶跃。

尤其是10 μm线宽,本身已经和这套系统的衍射特征尺寸处在同一数量级。

需要注意,8.5 μm是理想点目标的艾里斑直径,不等于十字线最终的宽度,也不能直接与10 μm、20 μm线宽做简单相加。

实际十字灰度轮廓还会受到:

  • • 物镜像差
  • • 离焦
  • • 分划板加工边缘
  • • 光源波长范围
  • • CMOS像元积分

等因素影响。

因此真正需要关心的是:

分划板经过整套光学系统后,在CMOS上形成了怎样的灰度轮廓。

【图|光圈减小时,衍射增强,点目标形成的艾里斑尺寸随之增大】


四、10、20、30 μm,哪一个更合适?

到了这里,可以开始比较三个最有价值的候选尺寸。

10 μm:约2.1个像素

10 μm的优势是线条本身比较细。

但对于4.8 μm像元来说,它的几何宽度只有约2.1个像素,而且又与系统衍射特征尺寸比较接近。

这意味着实际灰度分布会更明显地受到离焦、像差和采样相位影响。

它不是不能用,而是对整套光学系统和算法提出了更高要求。

20 μm:约4.2个像素

20 μm在几何上对应约4.2个像素。

相比10 μm,CMOS能够获得更多横跨线宽的采样点;相比更宽的线条,它又没有过度拉大两侧边缘的距离。

因此对于这套200 mm焦距、30 mm口径、4.8 μm像元的系统:

20 μm可以作为非常值得优先测试的候选值。

因为目前的计算只解决了几何采样和衍射量级问题,还没有包含真实物镜像质、照明均匀性和中心定位算法。

30 μm:约6.3个像素

30 μm能够提供更多像素参与灰度轮廓分析,但线条变宽以后,算法如何定义“中心”会变得更加重要。

如果采用两侧边缘确定中心,照明不均匀、局部遮挡以及两侧边缘不对称是否会带来位置偏移,都需要通过实验验证。

所以30 μm同样值得保留,但没有足够依据仅凭理论就认定它优于20 μm。

分划板并不存在脱离具体仪器参数的统一最佳线宽。


五、真正合理的做法,是把分划板放进整机里验证

如果现在就要为这台自准直仪准备第一批分划板,我更倾向于同时准备:

三种线宽,而不是只做一片20 μm。

然后在同一套200 mm / 30 mm物镜、同一台相机、同一套照明和算法下比较:

  • • CMOS上的实际灰度轮廓
  • • 十字中心定位的拟合残差
  • • 静态重复性
  • • 不同曝光下的位置漂移
  • • 接近饱和时的位置稳定性
  • • 低信号条件下的失效率
  • • 局部遮挡后的中心偏移

最终真正有意义的问题不是:

“20 μm是不是最标准?”

而应该变成:

在这套具体的光学系统和算法中,哪一个线宽能够在更大的工作条件范围内保持最稳定的亚像素定位?


结语

分划板往往只是自准直仪里一片很小的玻璃,但它恰好位于光学系统和图像算法的交界处。

对于本文这套参数:

  • • 焦距200 mm
  • • 通光口径30 mm
  • • 像元4.8 μm
  •  

一阶计算可以得到:

共物镜结构下,分划板到CMOS的几何倍率约为1,因此:

  • • 10 μm → 约2.1 pixel
  • • 20 μm → 约4.2 pixel
  • • 30 μm → 约6.3 pixel

同时,F/6.67物镜在525 nm附近的理想艾里斑直径约8.5 μm。

这些结果已经足以说明:

自准直仪分划板不是越细越好,也不是越宽越稳定。线宽必须和物镜、像元以及后端定位算法一起设计。

对于这套系统,20 μm是一个很有价值的第一候选,但真正的最终规格,仍然应该由10 / 20 / 30 μm三组实机对比结果来决定。

联系方式

北京总部:北京市丰台区南三环西路16号3号楼2511室 电话:010-67604860 邮编:100068 邮箱:13426068468@126.com

天津办事处:天津市西青区华苑产业区物华道8号凯发大厦A619室 电话:13426068468

© 2026 联景光电科技(北京)有限公司 版权所有 Powered by UJCMS

京ICP备19018582号